Plazmové „ low pressure“ systémy

Plazma je tvořena souborem nabitých částic ( elektronů a iontů ), které vzniknou dodáním energie atomům plynu ve vakuu. Energeticky bohaté ionty a elektrony působí na ošetřovaný povrch třemi různými způsoby:

  • bombardování povrchu ionty
  • ionizovaný plyn chemicky reaguje s povrchem
  • vznikajícím UV zářením

Firma Diener vyrábí plazmové „ low pressure“ systémy v mnoha různých velikostech a provedeních tak, aby vyhověly rozdílným požadavkům různých aplikací.

 

Princip plazmového "low pressure" systému

 

Systémy lze rozdělit jednak podle objemu komory (od laboratorních systémů s komorou o objemu 2 litry až po systémy s komorou několik metrů krychlových), dále podle způsobu řízení na systémy s jednoduchým poloautomatickým řízením nebo systémy řízené pře PC. Dále lze systémy dělit podle použitých procesních plynů a to standardní systémy a systémy v provedení pro korozivní plyny (SF6 a CF4), podle počtu použitých procesních plynů s jedním kanále, dvěma, třemi nebo čtyřmi. Podle typu generátoru na LF systémy 80kHz, HF systémy 13.57 MHz a MW systémy 2.45 GHz, podle materiálu reakční komory - nerez ocel, borosilikátové sklo, křemenné sklo, popř. podle typu elektrod. A dále je možno dodat systémy, které kombinují všechny tyto možnosti, popř. speciální systémy pro ošetření prášků, granulových materiálů atd.

 

Plazmové „low pressure“ systémy se skládají z pěti základních částí – základní skříně s rozvody plynů, reakční komory s elektrodami, řídícího systému, generátoru a vakuové pumpy. Proces má několik fází - vakuování komory, nastavení tlaku správné směsi procesních plynů, zapálení plazmy, vyrovnání tlaku v komoře a odsátí zbytků plynů a vypláchnutí komory. Spolu s vložením vzorků do komory a jejich vyjmutím z komory může tedy trvat od několika minut až po desítky minut, na které je zpravidla přerušen on-line proces na výrobních linkách. Podle taktu výrobní linky a délky plazmovacího procesu je pak třeba vypočítat velikost komory tak, aby nedošlo k narušení výroby.

Více informací na stránkách výrobce Diener electronic.


Víte že:

Vám můžeme dodat zdroj OFLS i v OEM verzi nebo s jiným typem laserové diody?

Širokospektrální zdroje

Aplikace pro tento měsíc

Aplikace pro tento měsíc

Monitorování kabinetů optických sítí v místech bez přívodu elektrické energie. Možnost detekce vniknutí do kabinetu již ve stádiu pokusu a vandalismu.

Monitorování kabinetů a vstupů

RSSRSS

Novinky

2017 7. 6.

Zdroj superkontinua ve Vaší aplikaci

Chcete se seznámit s možnostmi zdroje superkontinua?  Přemýšlíte o využítí ve Vaší aplikaci? Chcete vidět zdroj naživo?

Archiv novinek

Zasílání novinek e-mailem

Přejete si dostávat novinky do Vaší e-mailové schránky? Vyplňte následující formulář.

Zasílání novinek e-mailem