Plazmové „ low pressure“ systémy

Plazma je tvořena souborem nabitých částic ( elektronů a iontů ), které vzniknou dodáním energie atomům plynu ve vakuu. Energeticky bohaté ionty a elektrony působí na ošetřovaný povrch třemi různými způsoby:

  • bombardování povrchu ionty
  • ionizovaný plyn chemicky reaguje s povrchem
  • vznikajícím UV zářením

Firma Diener vyrábí plazmové „ low pressure“ systémy v mnoha různých velikostech a provedeních tak, aby vyhověly rozdílným požadavkům různých aplikací.

 

Princip plazmového "low pressure" systému

 

Systémy lze rozdělit jednak podle objemu komory (od laboratorních systémů s komorou o objemu 2 litry až po systémy s komorou několik metrů krychlových), dále podle způsobu řízení na systémy s jednoduchým poloautomatickým řízením nebo systémy řízené pře PC. Dále lze systémy dělit podle použitých procesních plynů a to standardní systémy a systémy v provedení pro korozivní plyny (SF6 a CF4), podle počtu použitých procesních plynů s jedním kanále, dvěma, třemi nebo čtyřmi. Podle typu generátoru na LF systémy 80kHz, HF systémy 13.57 MHz a MW systémy 2.45 GHz, podle materiálu reakční komory - nerez ocel, borosilikátové sklo, křemenné sklo, popř. podle typu elektrod. A dále je možno dodat systémy, které kombinují všechny tyto možnosti, popř. speciální systémy pro ošetření prášků, granulových materiálů atd.

 

Plazmové „low pressure“ systémy se skládají z pěti základních částí – základní skříně s rozvody plynů, reakční komory s elektrodami, řídícího systému, generátoru a vakuové pumpy. Proces má několik fází - vakuování komory, nastavení tlaku správné směsi procesních plynů, zapálení plazmy, vyrovnání tlaku v komoře a odsátí zbytků plynů a vypláchnutí komory. Spolu s vložením vzorků do komory a jejich vyjmutím z komory může tedy trvat od několika minut až po desítky minut, na které je zpravidla přerušen on-line proces na výrobních linkách. Podle taktu výrobní linky a délky plazmovacího procesu je pak třeba vypočítat velikost komory tak, aby nedošlo k narušení výroby.

Více informací na stránkách výrobce Diener electronic.


Víte že:

Vám můžeme dodat zdroj OFLS i v OEM verzi nebo s jiným typem laserové diody?

Širokospektrální zdroje

Aplikace pro tento měsíc

Aplikace pro tento měsíc

Monitorování kabinetů optických sítí v místech bez přívodu elektrické energie. Možnost detekce vniknutí do kabinetu již ve stádiu pokusu a vandalismu.

Monitorování kabinetů a vstupů

RSSRSS

Novinky

202126. 4.

Online veletrh SENZOR+TEST 2021

Srdečně Vás zveme na veletrh SENSOR + TEST 2021, který se uskuteční v termínu 4. - 6. 5. 2021. Naše prezentace, stejně jako celý veletrh, bude kompletně online.

Archiv novinek



Logo MBG systems Logo IDIL Logo QPS PhotronicLogo KEOPSYS Logo Ocean Optics   Logo PRECITEC Logo Opto Acoustics Logo STANDAFianiumlogo Diener Electronic

© 2021, Safibra, s.r.o. – všechna práva vyhrazena

Prohlášení o přístupnosti | Podmínky užití | Ochrana osobních údajů | Mapa stránek

Webové stránky vytvořila eBRÁNA s.r.o. | Vytvořeno na CMS WebArchitect | SEO a internetový marketing